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电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008

前言: 中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范Code for design of electronic industry clean roomGB 50472-2008主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日中华人民共和国住房和城乡建设部公告第200号关于发布国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》的公告现批准; 2024-12-6 09:33

1 总则: 1.0.1 为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。1.0.3 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。1.0.4 电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调; 2024-12-6 09:33

2 术语: 2.0.1 洁净室 clean room 空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。2.0.2 洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。2.0.3 人员净化用; 2024-12-6 09:33

3 电子产品生产环境设计要求: 3.1 一般规定 3.2 生产环境设计要求; 2024-12-6 09:33

3.1 一般规定: 3.1.1 电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。3.1.2 生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求，对电子产品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种介质的质量进行控制。3.1.3 洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和物料储运装置，其制作的材质和清洁方式应按; 2024-12-6 09:33

3.2 生产环境设计要求: 3.2.1 洁净室(区)的空气洁净度等级应按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定执行。洁净室(区)设计时，空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。3.2.2 各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定；无要求时，可按本规范附录A确定。3.2.3 洁净室(区)的温度和相对湿度应按表3.2 3确定。3.2.4 各类电子产品生产所需纯水水质、气体; 2024-12-6 09:33

4 总体设计: 4.1 位置选择和总平面布置 4.2 洁净室型式 4.3 洁净室布置和综合协调; 2024-12-6 09:33

4.1 位置选择和总平面布置: 4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比较后确定： 1 应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域； 2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时，则应位于全年最小频率风向下风侧； 3 在厂区内应布置在环境清洁、污; 2024-12-6 09:33

4.2 洁净室型式: 4.2.1 洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业; 2024-12-6 09:33

4.3 洁净室布置和综合协调: 4.3.1 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区，并应符合下列要求： 1 洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助用房，应合理分区布置； 2 生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间； 3 生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔； 4 发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔; 2024-12-6 09:33

5 工艺设计: 5.1 一般规定 5.2 工艺布局 5.3 人员净化 5.4 物料净化 5.5 设备及工器具; 2024-12-6 09:33

5.1 一般规定: 5.1.1 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。5.1.2 洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产品生产要求的前提下，应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少、运行费用低、生产效率高。5.1.3 洁净厂房工艺设计应根据产品生产工艺和空气洁净度等级要求设置人流路线、物料运输和仓储设施。条文说明5.1.1 随着科学技术的发展，电子产品的更; 2024-12-6 09:33

5.2 工艺布局: 5.2.1 洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5.2.2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。5.2.3 在满足生产工艺和微振控制、噪; 2024-12-6 09:33

5.3 人员净化: 5.3.1 人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等级设置，并应设置生活用室。人员净化用室宜按图5.3.1的人员净化程序进行布置。5.3.2 人员净化用室，应根据换鞋(净鞋)、更外衣、更洁净工作服等的需要设置。雨具存放、厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间及干燥间等其他用室，可根据需要设置。5.3.3 洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积，应; 2024-12-6 09:33

5.4 物料净化: 5.4.1 洁净室(区)内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应物净设施。5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。条文说明电子工业洁净厂房内，为避免多种物料搬入洁净室时，携带污染物影响洁净室(区)的空气洁净度，甚至影响电子产品质量，造成次品或废品的出现，因此本节规定各种物料搬入洁净室(区)的下列基本规定 1 洁; 2024-12-6 09:33

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