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Discuz! Board 资源 消防规范多晶硅工厂设计规范 GB51034-2014
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多晶硅工厂设计规范 GB51034-2014

8.4 洁净设计及装修
8.4.1 还原、整理厂房洁净设计及装修应符合下列规定: 1 半导体级多晶硅还原厂房的还原炉室应按洁净厂房进行设计,空气洁净度等级不应低于8级。平面布置、人员净化、物流净化、室内装修应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。当设有通往整理厂房的连廊时,连廊的空气洁净度等级和处理方法应与还原炉室的要求一致,宜符合本规范附录C的规定。 2 还原炉室地面宜采用耐
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8.5 防腐蚀
8.5.1 多晶硅工厂腐蚀性介质类别的划分应符合表8.5.1的规定。表8.5.1 多晶硅工厂腐蚀性介质类别划分 注:1 介质本身无腐蚀性,但遇水后生成盐酸,为强腐蚀性; 2 表中腐蚀介质的类别应按现行国家标准《工业建筑防腐蚀设计规范》GB 50046的有关规定分类。8.5.2 建(构)筑物防腐蚀处理应符合下列规定: 1 地面防腐蚀应符合现行国家标准《工业建筑防
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8.6 结构设计
8.6.1 结构设计应根据工艺布置要求、生产特性以及工程地质条件等因素,选择技术先进、经济合理、安全适用的结构设计方案。8.6.2 多晶硅工厂建(构)筑物的设计基准期应为50年。8.6.3 多晶硅工厂建(构)筑物抗震设防划分,应根据生产规模、产品性状、生产特点、社会影响、停产损失和修复难度等因素确定,并应符合现行国家标准《建筑工程抗震设防分类标准》GB 50223的有关要求。主要生产装置建(
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9 给水、排水和消防
9.1 给水9.2 排水9.3 废水处理9.4 循环冷却水系统9.5 消防
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9.1 给水
9.1.1 给水工程设计应符合现行国家标准《室外给水设计规范》GB 50013和《建筑给水排水设计规范》GB 50015的规定。9.1.2 生产用水水量及水质应根据工艺要求确定;生活饮用水应符合现行国家标准《生活饮用水卫生标准》GB 5749的水质要求,用水标准及定额应符合现行国家标准《建筑给水排水设计规范》GB 50015的有关规定。9.1.3 可能发生物料泄漏的装置区及储罐区必须设置紧急
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9.2 排水
9.2.1 排水工程设计应符合现行国家标准《室外排水设计规范》GB 50014和《建筑给水排水设计规范》GB 50015的有关规定。9.2.2 室外排水系统应采用雨污分流制,前期雨水应收集处理;在缺水地区,宜设置雨水利用系统。9.2.3 雨水管、渠设计重现期应符合现行国家标准《室外排水设计规范》GB 50014的有关规定。9.2.4 生产废水的排水系统应根据废水的性质、水质、水量以及废水处
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9.3 废水处理
9.3.1 废水处理应遵循节水优先、分质处理、优先回用的原则。9.3.2 废水处理设施的位置应满足工艺总体布局要求。9.3.3 废水处理设施应根据工艺生产排出的废水种类、浓度及水量确定,处理后的出水水质应符合国家和地方的有关排放要求。9.3.4 高浓度含氟废液必须采取预处理措施。9.3.5 距废水处理设施构筑物的10m~50m的区域宜设置地下水监测点。条文说明9.3.1 处理后废水应优
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9.4 循环冷却水系统
9.4.1 多晶硅工厂设备冷却水系统的设计应符合现行国家标准《工业循环水冷却设计规范》GB/T 50102和《工业循环冷却水处理设计规范》GB 50050的有关规定。9.4.2 循环水系统应根据水温、水压、水质及设备运行要求设置,分设不同循环水系统。9.4.3 硅芯拉制炉、单晶炉和还原炉电极的循环水系统必须采取相应的保安措施。9.4.4 循环水系统应根据水质情况,合理设置水质稳定处理装置,
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9.5 消防
9.5.1 多晶硅工厂应设置消防设施,并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《石油化工企业设计防火规范》GB 50160和《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。9.5.2 多晶硅工厂装置区、储罐区必须设置独立的稳高压消防给水系统,其压力应为0.5MPa~1.2MPa。其他场所应设置低压消防给水系统。9.5.3 装置区、储罐区应设置固定式消防水炮,并应符合现
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10 采暖、通风与空气调节
10.1 一般规定10.2 通风10.3 空气调节与净化10.4 防排烟10.5 空调冷热源
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10.1 一般规定
10.1.1 采暖、通风、空调与空气净化系统设计应满足生产工艺对生产环境的要求,主要建筑物空气洁净度、温度、湿度的设计要求宜符合本规范附录C的规定。10.1.2 8级以上洁净室(区)不应采用散热器采暖,其他厂房或房间的采暖系统设置应符合现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的有关规定。10.1.3 严寒地区还原车间的管道夹层采用热风采暖时,不应回风。条文说明10.1.1
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10.2 通风
10.2.1 通风系统设置应满足生产工艺、劳动卫生、人员安全以及环境保护等方面的要求。10.2.2 有负压要求的房间采用机械方式送风时,各房间的送风量与岗位送风量之和应小于排风量,房间应保证微负压。10.2.3 还原炉室与非防爆区相邻应保持微负压,其局部排风与整体排风应符合下列规定: 1 还原炉室应设局部排风、整体排风与事故排风系统,总排风量不得小于6次/h的换气次数; 2
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10.3 空气调节与净化
10.3.1 厂房空气洁净度等级、温度、湿度的设计应满足生产工艺要求。10.3.2 存在下列情况之一时,空调系统应分开设置: 1 净化空调系统与一般空调系统; 2 空气中含有易燃、易爆物质; 3 容易产生交叉污染,对其他工序的产品质量造成影响; 4 对温、湿度控制要求差别大; 5 工艺设备散热量相差悬殊。10.3.3 保证空气洁净度等级的送风量应符合下
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10.4 防排烟
10.4.1 多晶硅厂房防排烟系统的设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。10.4.2 机械排烟系统宜与通风、空调系统分别设置。排烟补风系统宜与通风、空调系统合用。10.4.3 机械排烟系统应符合下列规定: 1 排烟系统的密闭空间应设置补风系统,补风量不宜小于排烟量的50%,且房间疏散门内外的压差不宜大于30Pa; 2 发生火情时应能手动和自动
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10.5 空调冷热源
10.5.1 冷热源站应根据总图规划、工艺布局、气象条件、能源供应状况、输送能耗等因素确定;集中冷热源站宜独立设置,也可在生产厂房内设置。10.5.2 冷源设计应符合下列规定: 1 具有常年余热蒸汽或热水时,应采用溴化锂吸收式冷水机组供冷; 2 无蒸汽或热水作为热源时,可采用电动压缩式冷水机组供冷; 3 具有多种能源时,可采用复合式能源供冷; 4 夏热冬冷地区、
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