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特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020

前言: 中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术标准Technical standard for specialty gas system engineeringGB 50646-2020主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2020年10月1日中华人民共和国住房和城乡建设部公告2020年第59号住房和城乡建设部关于发布国家标准《特种气体系统工程; 2024-12-5 11:51

1 总则: 1.0.1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。1.0.3 本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。1.0.4 特; 2024-12-5 11:51

2 术语: 2.0.1 特种气体 specialty gas 电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas 也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54°C时可能自燃的易燃气体。2.0.3 易燃性气体 flammable gas 一种在20℃和标准压力101.3; 2024-12-5 11:51

3 特种气体站房: 3.1 一般规定 3.2 特种气体站房布置 3.3 特种气体设备布置; 2024-12-5 11:51

3.1 一般规定: 3.1.1 特种气体站房应布置在独立的建(构)筑物或生产厂房的特种气体间内。3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格等向生产设备供应特种气体。3.1.3 布置在单独建(构)筑物的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车等向生产设备供应特种气体。3.1.4 布置在生产区的特种气体设备应符合下列规定： 1 特种气体的最大允许; 2024-12-5 11:51

3.2 特种气体站房布置: 3.2.1 特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。3.2.2特种气体站房的生产的火灾危险性类别应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。3.2.3 生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为易燃性气体间、毒性(腐蚀性)气体间、惰性(氧化性)气体间、剧毒性气体间等。3.2.4 独立的特种气体站根据气体种类、兼容性等因索应分为不同种类的特种气体间。3.2.5; 2024-12-5 11:51

3.3 特种气体设备布置: 3.3.1 不相容特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置在同一房间时，气瓶架之间的距离应大于6m。 3.3.2 同时具有易燃性和毒性气体的设备应放在易燃性气体间。 3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等设备宜靠墙布置，具有相同或相近性质的气体设备应布置在一起。 3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2m，特种气体设备的布置应预留满足设备运输、维修与操作、安; 2024-12-5 11:51

4 特种气体工艺系统: 4.1 一般规定 4.2 特种气体输送系统 4.3 吹扫和排气系统 4.4 硅烷工艺系统; 2024-12-5 11:51

4.1 一般规定: 4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置： 1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管拖车； 2 气体分配用阀门箱、阀门盘； 3 辅助氮气吹扫系统； 4 尾气处理装置。4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。 4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。 4.1.4 不相容的特种; 2024-12-5 11:51

4.2 特种气体输送系统: 4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定： 1 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置； 2 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中； 3 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板； 4 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实； 5 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的; 2024-12-5 11:51

4.3 吹扫和排气系统: 4.3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定： 1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连； 2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源； 3 吹扫气体管线应设置止回阀。4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。4.3.3 特种气体系统的辅助抽真; 2024-12-5 11:51

4.4 硅烷工艺系统: 4.4.1 硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定： 1 硅烷站的规模； 2 硅烷的物理化学性质； 3 当地硅烷供应的充装、运输状况； 4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。4.4.2 硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接管道。4.4.3 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的功能。4.4.4 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。4.4.5; 2024-12-5 11:51

5 生命安全系统: 5.1 特种气体管理系统 5.2 特种气体探测系统 5.3 其他安全设施 5.4 特种气体报警的联动控制; 2024-12-5 11:51

5.1 特种气体管理系统: 5.1.1 应用多种特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统，并应符合下列规定： 1 特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警的功能，并应能记录、存储和打印； 2 特种气体管理系统宜为独立的系统，应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能； 3 特种气体管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连。5.1.2 特种气体管理系; 2024-12-5 11:51

5.2 特种气体探测系统: 5.2.1 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置： 1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处； 2 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处； 3 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处； 4 惰性气体间可能产生窒息的区域； 5 自燃性、易燃性、剧毒; 2024-12-5 11:51

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