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洁净厂房设计规范 GB50073-2013

8.4 安全技术
8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置,报警装置应与相应的事故排风机连锁: 1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。 2 管廊,上、下技术夹层,技术夹道内有可燃气体的易积聚处。 3 洁净室内使用可燃气体处。 8.4.2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施: 1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。 2 引至室外的放散管应设置阻火器,并应设置
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9 电气
9.1 配电 9.2 照明 9.3 通信 9.4 自动控制 9.5 静电防护及接地
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9.1 配电
9.1.1 洁净厂房低压配电设计应采用220/380V。带电导体系统的形式宜采用单相二线制、三相三线制、三相四线制。系统接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系统。 9.1.2 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应按现行国家标准《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定和生产工艺要求确定。主要生产工艺设备应由专用变压器或专用低压馈电线路供电,有特殊要求的工作电源宜设置不间断电源(UPS)。净化
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9.2 照明
9.2.1 洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时,可采用其他形式光源。 9.2.2 洁净室内一般照明灯具应为吸顶明装。当灯具嵌入顶棚暗装时,安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室应采用洁净室专用灯具。 9.2.3 无采光窗的洁净室(区)的生产用房间一般照明的照度标准值宜为200lx~500lx,辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等宜为150lx~300
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9.3 通信
9.3.1 洁净厂房内应设置与厂房内、外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其他工段的联系宜设生产对讲电话。 9.3.2 洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要,宜设置闭路电视监视系统。 9.3.3 洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾报警探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。 9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室,并不应设在洁净区内。消防值班室应设置消防专用电
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9.4 自动控制
9.4.1 洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。 9.4.2 洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机。 9.4.3 净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时,应设置无水保护装置。条文说明9.4.1 洁净厂房设置一套较完整的自动监控装置,对确保洁净厂房的正常生产和提高运行管理水平十分有利,但建设投资增加。各类洁净厂房内包括洁净室空气洁净度、温度和湿度的监控,洁
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9.5 静电防护及接地
9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。 9.5.2 洁净室(区)内的防静电地面,其性能应符合下列规定: 1 地面的面层应具有导电性能,并应保持长时间性能稳定。 2 地面的面层应采用静电耗散性的材料,其表面电阻率应为1.0×105Ω/□~1.0×1012Ω/□或体积电阻率为1.0×104Ω&mi
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附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证
A.1 通则 A.2 洁净室或洁净区性能测试要求 A.3 洁净室主要测试方法 A.4 监测 A.5 认证
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A.1 通则
A.1.1 洁净室或洁净区应监测或定期进行性能测试,以认证该洁净室或洁净区始终符合本规范的要求。 A.1.2 洁净室或洁净区性能测试认证工作应由专门检测认证单位承担,并提交检测报告。 A.1.3 测试和认证工作之前,系统应达到稳定运行。测试和监测仪表应在标定证书有效使用期内。条文说明 本附录编写的指导思想是与国际接轨,依据国际标准《洁净室及相关受控环境》ISO 14644、《生物污染控制》I
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A.2 洁净室或洁净区性能测试要求
A.2.1 洁净室或洁净区应进行下列三项测试: 1 空气洁净度测试。生物洁净室应进行浮游菌、沉降菌测试。 2 静压差测试。 3 风速或风量测试。A.2.2 洁净室或洁净区的三项测试应符合下列规定: 1 空气洁净度测试应符合表A.2.2-1的规定。表A.2.2-1 空气洁净度测试 2 静压差、风速或风量测试应符合表A.2.2-2的规定。表A.2.2-2 静压差、风速或风
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A.3 洁净室主要测试方法
A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定: 1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,测点位于高效过滤器出风面约150mm~300mm,垂直气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于4点,所有读数的算术平均值作为平均风速。 2 对于非单向流洁净室,采用风口或风管法确定送风量,可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB
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A.4 监测
A.4.1 按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他参数的监测。 A.4.2 双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径,以及粒子数的限值。 A.4.3 当监测结果超过规定的限值时,则应认定设施不符合要求,应进行修正;修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限值内,可继续监测。
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A.5 认证
A.5.1 按双方协议书的规定及第A.2节的要求,按第A.3节的方法进行测试,当测试结果在规定的限值之内时,可认定该洁净室符合规定要求。当测试结果超过规定的限值,可认定该洁净室不符合要求,应进行改进,在完成改进工作之后,应进行再认证。 A.5.2 记录数据评价应符合下列规定: 1 在空气洁净度测试中,当测点在1点~10点时,应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出
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附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
表B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
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附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求
C.0.1 洁净室的净化空气监测频数宜按表C.0.1的规定进行监测。表C.0.1 洁净室的净化空气监测频数C.0.2 当出现下列任何一种情况时,应更换高效空气过滤器: 1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后,气流速度仍不能增大。 2 高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5倍~2.0倍。 3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。C.0.3 当洁净厂房内采用高效真空吸
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