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洁净厂房设计规范 GB50073-2013

6.1 一般规定
6.1.1 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求。6.1.2 应根据空气洁净度等级的不同要求,选用不同的气流流型。6.1.3 下列情况之一者,其净化空调系统宜分开设置: 1 运行班次或使用时间不同。 2 生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响。 3 对温、湿度控制要求差别大。 4 净化空调系统与一般空调系统。6.1.4 洁
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6.2 洁净室压差控制
6.2.1 洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。 6.2.2 不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。 6.2.3 洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。 6.2.4 送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动
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6.3 气流流型和送风量
6.3.1 气流流型的设计应符合下列规定: 1 洁净室(区)的气流流型和送风量应符合表6.3.3的要求。空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流;空气洁净度等级为4级~5级时,应采用单向流;空气洁净度等级为6级~9级时,应采用非单向流。 2 洁净室工作区的气流分布应均匀。 3 洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。6.3.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值: 1
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6.4 空气净化处理
6.4.1 空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规定: 1 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。 2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。 3 中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。 4 亚高效过滤器和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端,超高效过滤器应设置在净化空调系统的末端。 5 设置在同一洁净室内
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6.5 采暖通风、防排烟
6.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采暖。 6.5.2 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,应设局部排风装置。 6.5.3 在下列情况下,局部排风系统应单独设置: 1 排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。 2 排风介质中含有毒性的气体。 3 排风介质中含有易燃、易爆气体。 6.5.4 洁净室的排风系统设计应符合下列规定
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6.6 风管和附件
6.6.1 净化空调系统的新风管段应设置电动密闭阀、调节阀,送、回风管段应设置调节阀,洁净室内的排风系统应设置调节阀、止回阀或电动密闭阀。 6.6.2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀: 1 风管穿越防火分区的隔墙处,穿越变形缝的防火隔墙的两侧。 2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。 3 垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。 6.6.3 净化空
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7 给水排水
7.1 一般规定 7.2 给水 7.3 排水 7.4 消防给水和灭火设备
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7.1 一般规定
7.1.1 洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内,也可埋地敷设。洁净室内管道宜暗装,与本房间无关的管道不宜穿过。 7.1.2 管道外表面可能结露时,应采取防护措施。防结露层外表面应光滑,易于清洗,并不得对洁净室造成污染。 7.1.3 管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管,管道和套管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有效的密封措施。条文说明7.1.1 洁净厂房内
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7.2 给水
7.2.1 洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求,并应分别设置。管道的设计应留有余量,以适应工艺变动。 7.2.2 水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式,并应符合下列规定: 1 循环附加水量应为使用水量的30%~100%。 2 干管流速应为1.5m/s~3m/s。 3 不循环的支管长度应尽量短,其长度不应大于6倍管径。
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7.3 排水
7.3.1 排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等要求。有害废水应经废水处理,达到国家排放标准后排出。 7.3.2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备,必须在其排出口以下部位设水封装置,排水系统应设有完善的透气装置。 7.3.3 洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定: 1 空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。 2 6级洁净室内不宜设地漏,如必
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7.4 消防给水和灭火设备
7.4.1 洁净厂房必须设置消防给水设施,消防给水设施设置设计应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。 7.4.2 洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。 7.4.3 洁净室的生产层及可通行的上、下技术夹层应设置室内消火栓。消火栓的用水量不应小于10L/s,同时使用水枪数不应少于2只,水枪充实水柱长度不应小
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8 工业管道
8.1 一般规定 8.2 管道材料和阀门 8.3 管道连接 8.4 安全技术
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8.1 一般规定
8.1.1 洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定: 1 洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。 2 干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。 3 易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。 4 当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。 8.1.2 洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》
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8.2 管道材料和阀门
8.2.1 工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况选用,并应满足生产工艺的要求和使用特点,经技术经济比较后确定。 8.2.2 高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求,并应符合下列规定: 1 当气体纯度大于或等于99.999%,露点低于-76℃时,应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。 2 当气体纯度大于或等于99.
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8.3 管道连接
8.3.1 工业管道的连接应符合下列规定: 1 管道连接应采用焊接,热镀锌钢管应采用螺纹连接。 2 不锈钢管应采用氩弧焊,以对接焊或承接焊连接;高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。 8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。 8.3.3 管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定: 1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物
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