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Discuz! Board › 资源 › 消防规范›发光二极管工厂设计规范 GB51209-2016

发光二极管工厂设计规范 GB51209-2016

7 结构: 7.1 一般规定7.2 结构设计; 2024-12-4 14:02

7.1 一般规定: 7.1.1 发光二极管工厂光刻机等精密设备基础应满足微振动控制的要求。7.1.2 产生较大振动的设备基础宜远离光刻机等精密设备区域；当无法远离时，对产生较大振动的设备应采取有效的隔振措施。7.1.3 生产厂房工艺生产区的结构不宜设置伸缩缝。条文说明7.1.1 精密设备的微振动控制标准一般由设备制造商提供。7.1.2 基于拟建厂房所处环境的复杂性、影响因素的多样性和对于条件的不可确知性，对; 2024-12-4 14:02

7.2 结构设计: 7.2.1 发光二极管生产厂房可根据工艺生产要求采用下列结构体系： 1 单层排架结构体系； 2 单层门式刚架钢结构体系； 3 多层框架结构体系； 4 多层框排架结构体系。7.2.2 精密设备基础宜避开厂房柱基础；无法避开时，应考虑厂房柱基础沉降引起精密设备基础的地基变形计算。7.2.3 光刻机等精密设备基础在首层的微振动控制应根据其特性，采取防微振措施，并应符; 2024-12-4 14:02

8 动力及气体工程: 8.1 冷热源8.2 大宗气体供应8.3 特种气体供应8.4 动力气体供应; 2024-12-4 14:02

8.1 冷热源: 8.1.1 发光二极管工厂人工冷热源宜采用集中设置的冷(热)水机组和供热、换热设备。机型和设备选择，应根据工厂所在地区的气候、能源结构、政策、价格及环保规定，按下列规定综合比较确定： 1 热源应优先采用城市、区域供热和工厂余热； 2 具有城市工业燃气供应的地区，可采用燃气锅炉、燃气热水机组供热或燃气吸收式冷(热)水机组供冷、供热； 3 工厂也可采用燃煤锅炉、燃油锅炉供热.; 2024-12-4 14:02

8.2 大宗气体供应: 8.2.1 大宗气体管道系统设计应符合下列规定： 1 大宗气体的供气方式应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定； 2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管，放散管应引至室外并高出建筑的屋脊1m，氢气放散管道上应设置阻火器； 3 洁净室内的氢气管道应明敷，穿过洁净室的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不应有焊缝，套管与管道之间应采取; 2024-12-4 14:02

8.3 特种气体供应: 8.3.1 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体，在工厂内设置储存、分配系统。8.3.2 特种气体储存分配系统设备，应根据特种气体的性质和储存数量布置在独立的建构筑物内，或布置在生产厂房内。8.3.3 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定： 1 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中； 2 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置在同一房间时，不相容; 2024-12-4 14:02

8.4 动力气体供应: 8.4.1 干燥压缩空气系统应根据生产工艺对供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定： 1 干燥压缩空气系统的供气规模应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗量确定； 2 供气设备可集中布置在生产厂房内的供气站或生产厂房外的综合动力站内。8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防止冷却空气发生短路现象。8.4.3 当干燥压缩空气输送露点低于-76℃时，可采用内; 2024-12-4 14:02

9 供暖、通风、空气调节与净化: 9.1 一般规定9.2 供暖、通风与废气处理9.3 空气调节与净化9.4 防排烟; 2024-12-4 14:02

9.1 一般规定: 9.1.1 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。9.1.2 洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定。9.1.3 当出现下列情况之一时，空气净化调节系统宜分开设置： 1 生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安全卫生有影响； 2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室； 3 净化空调系统和一般空调系; 2024-12-4 14:02

9.2 供暖、通风与废气处理: 9.2.1 供暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的有关规定。9.2.2 洁净室内不应采用散热器供暖。9.2.3 寒冷和严寒地区各动力站房应根据工艺要求设置值班供暖。9.2.4 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，均应设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。9.2.5 排风系统的设计应符合下列规定： 1 金属有机化合物化学气相沉积设; 2024-12-4 14:02

9.3 空气调节与净化: 9.3.1 净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组的设置应符合下列规定： 1 送风机应采取自动调速措施； 2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理； 3 新风处理机组应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1％。9.3.2 光刻间净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，其他洁净室净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处; 2024-12-4 14:02

9.4 防排烟: 9.4.1 生产厂房中防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然排烟设施，当不能满足自然排烟要求时，应设置机械排烟系统。机械排烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。9.4.2 生产厂房中不具备自然排烟的疏散走廊，应设置机械排烟系统。9.4.3 金属有机化合物化学气相沉积设备车间内应设置机械排烟系统，其他车间排烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》; 2024-12-4 14:02

10 给水排水: 10.1 一般规定10.2 一般给水排水10.3 纯水10.4 工艺冷却循环水10.5 废水处理10.6 消防; 2024-12-4 14:02

10.1 一般规定: 10.1.1 发光二极管工厂的给水排水设计应符合现行国家标准《建筑给水排水设计规范》GB 50015的有关规定，并应符合下列规定： 1 设有技术夹层的发光二极管工厂，其厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层内； 2 洁净室内不宜穿过与该洁净室无关的给排水管道，当必须穿过时，应采取可靠的防渗漏、防结露措施。10.1.2 废水管道不宜直接敷设在首层结构板下，当必须直接敷设时，应采取可; 2024-12-4 14:02

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