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Discuz! Board › 资源 › 消防规范›电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019

电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019

6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气: 6.2.1 含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定： 1 宜采用多级喷淋处理方式； 2 当二氧化氮（NO2）含量超出排放标准时，应采用还原处理； 3 当一氧化氮（NO）含量超出排放标准时，应采用氧化、还原处理； 4 综合处理效率不应低于90％； 5 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。6.2.2 高浓度酸废气处理应符合下列规定： 1 宜在产生高浓度酸; 2024-12-4 14:15

7 挥发性有机物废气系统: 7.1 一般规定 7.2 废气收集、排风管道系统 7.3 处理系统 7.4 处理设备 7.5 自动控制及安全措施; 2024-12-4 14:15

7.1 一般规定: 7.1.1 当采用吸附、吸附浓缩、催化氧化或蓄热氧化工艺处理挥发性有机物废气时，应控制待处理气体的颗粒物浓度。吸附、吸附浓缩处理气体的颗粒物浓度应低于1mg/m³，催化氧化或蓄热氧化处理气体的颗粒物浓度应低于10mg/m³（T＝293K，P＝101.325kPa）。7.1.2 当采用吸附、吸附浓缩等工艺处理挥发性有机物废气时，待处理废气的温度不宜高于40℃，相对湿度不宜大于80; 2024-12-4 14:14

7.2 废气收集、排风管道系统: 7.2.1 排风系统应配置备用风机，且排风机应按一级负荷供电，使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的50％。7.2.2 经处理后的工艺设备排出的挥发性有机物废气不应循环使用。7.2.3 设计排风管路系统时，应避免风管内挥发性有机物蒸汽积聚。7.2.4 设置自动喷淋系统的排风管，应避免喷淋排水回流到工艺设备，风管支撑系统应能承载喷淋时风管系统的重量。7.2.5 挥发性有机物废气排风管的设计不宜; 2024-12-4 14:14

7.3 处理系统: 7.3.1 挥发性有机物废气的末端处理方式应符合下列规定： 1 浓度在50mg/m³（甲烷计）以下时，可采用活性炭吸附法； 2 浓度不高于1000mg/m³时，宜采用转轮浓缩和热氧化工艺； 3 浓度高于1000mg/m³时，宜采用热氧化工艺。7.3.2 活性炭吸附系统应符合下列规定： 1 吸附剂与气体的接触时间宜为0.5s～2s； 2 所; 2024-12-4 14:14

7.4 处理设备: 7.4.1 活性炭吸附设备设置应符合下列规定： 1 当废气中颗粒物浓度大于1mg/m³时，宜设置预过滤器； 2 活性炭过滤风速宜为0.2m/s～0.6m/s，设备阻力不宜大于1000Pa； 3 活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置； 4 设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应； 5 设备强度应能满足承压要求； 6 吸附设备的基本性能应符合现行行; 2024-12-4 14:14

7.5 自动控制及安全措施: 7.5.1 挥发性有机物废气处理系统应配置以下安全保护装置： 1 风量或风压低于设定值报警装置； 2 炉膛超温时高温烟气从炉膛直排烟道的应急排放管。7.5.2 使用挥发性有机物的工艺设备，排风支管宜设置可显示其排风系统状态的流量计或压力表。7.5.3 挥发性有机物废气处理系统应设置监测、日常操作及保养所需的辅助设施及控制系统失效情况下的紧急安全处理措施。7.5.4 挥发性有机物排风系统; 2024-12-4 14:14

8 特种废气系统: 8.1 一般规定 8.2 烷类尾气处理系统 8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统 8.4 其它特种尾气处理系统 8.5 中央废气处理系统; 2024-12-4 14:14

8.1 一般规定: 8.1.1 特种废气处理系统的设置应符合下列规定： 1 应根据工艺设备生产过程中产生的污染物性质和浓度等因素，选择尾气处理设备（POU）的形式； 2 特种废气宜在使用设备的附近进行处理； 3 尾气处理设备宜设置备用。8.1.2 工艺设备与尾气处理设备之间的管道连接应符合下列规定： 1 当工艺设备使用的气体不相容时，工艺设备与尾气处理设备应一一对应； 2 工艺设备的排出; 2024-12-4 14:14

8.2 烷类尾气处理系统: 8.2.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定： 1 设备的处理效率不应低于99％； 2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下； 3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。8.2.2 采用电热式和等离子式的尾气处理设备，其内部应采用耐腐蚀、耐高温的材料。8.2.3 尾气处理系统宜采用下列方式： 1 硅烷（SiH4）、锗烷（GeH4）宜采用热; 2024-12-4 14:14

8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统: 8.3.1 对化学气相沉积（CVD）、干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物（PFC），排入大气前应进行处理。8.3.2 尾气处理设备的效率应符合下列规定： 1 三氟化氮（NF3）不应低于98％； 2 其他不应低于95％。8.3.3 全氟化合物（PFC）尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式，裂解方式应根据处理效率、处理生成物、系统可靠性、处理能力、运行成本，使用寿命、消防要求因素; 2024-12-4 14:14

8.4 其他特种尾气处理系统: 8.4.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定： 1 设备的处理效率不应低于99％； 2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下； 3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。8.4.2 外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定： 1 外延尾气处理系统应单独设置； 2 应按防爆系统设置； 3 不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内; 2024-12-4 14:14

8.5 中央废气处理系统: 8.5.1 特种气体经尾气处理设备就地处理后，应接入中央废气处理系统进行再处理。8.5.2 中央废气处理系统应根据污染因子特性进行设计。8.5.3 从尾气处理设备出口至中央废气处理设备的管路应保持负压状态。8.5.4 当尾气处理设备产生粉尘时，系统的设置应符合下列规定： 1 废气排入大气前应进行除尘处理； 2 除尘器宜靠近尾气处理设备； 3 当尾气处理设备采用淋洗方式时，不宜采用; 2024-12-4 14:14

9 除尘系统: 9.1 一般规定 9.2 系统设计、处理流程及方法 9.3 处理设备 9.4 风管及附件; 2024-12-4 14:14

9.1 一般规定: 9.1.1 除尘系统的设计寿命应与工艺生产设备的剩余寿命相适应，且不宜小于20年。9.1.2 除尘系统应采取防治二次污染的措施，废水、废气、废渣、噪声及其他污染物的排放应符合相应的国家或地方排放要求。9.1.3 除尘主体设备的布置应符合下列规定： 1 应按除尘工艺的流程布置，且宜靠近污染源； 2 除尘主体设备之间应留有满足安装、检修、消防和运输需要的间距。条文说明9.1.1 寿命设计年; 2024-12-4 14:14

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