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Discuz! Board › 资源 › 消防规范›电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019

电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019

前言: 中华人民共和国国家标准电子工业废气处理工程设计标准Standard for design of electronic industry emissions treatment engineeringGB 51401-2019主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2020年4月1日中华人民共和国住房和城乡建设部公告2019年第321号住房和城乡建; 2024-12-4 14:15

1 总则: 1.0.1 为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。1.0.3 电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。条文说明1.0.1 本条规定了制定; 2024-12-4 14:15

2 术语: 2.0.1 封闭箱体 enclosure 实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。2.0.2 设备排风静压 exhausting static pressure of equipment 需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差，通常为负值，单位为Pa。2.0.3 不相容 incompatible 化学物质经由非故; 2024-12-4 14:15

3 基本规定: 3.0.1 产生有害物质的工艺生产设备，宜采用自动化，并应采取密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害物质在排放前，应采取净化处理措施，并应达到有关污染物排放标准。3.0.2 排风系统应按废气种类和不相容原则设置。3.0.3 下列情况之一时，应单独设置排风系统： 1 不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸； 2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性； 3; 2024-12-4 14:15

4 工艺及工艺设备: 4.1 一般规定4.2 污染物控制4.3 应急设施; 2024-12-4 14:15

4.1 一般规定: 4.1.1 工艺设备应根据废气污染物的性质分类独立设置排出口。4.1.2 生产所用的原辅材料应符合清洁生产要求以及相关限制性规定。4.1.3 生产过程中不宜使用极毒、剧毒物质，当不可避免使用上述有害物质时，应采用自动化设备，并应采取密闭、隔离和负压操作措施，同时应进行物料平衡计算。4.1.4 工艺设备当使用可产生全球性温室效应的全氟化合物时，应采取密闭系统，并应独立设置排出口。4.1.5 产生同种; 2024-12-4 14:15

4.2 污染物控制: 4.2.1 生产工艺宜采用先进的技术和装备，减少有毒有害物质的产生量。4.2.2 工艺设备中产生有毒有害物质的腔体应采取排风措施，并应保持满足工艺要求的负压值。条文说明4.2.1 生产工艺采用先进的技术和装备，可以减少有毒有害物质的产生量。例如，在半导体工艺中通过改进生产工艺，降低光刻次数，降低化学品的消耗，从而降低挥发性有毒有害废气的排放量；在平板显示器件制程的涂胶工序中，可以采用非甩胶的工艺设; 2024-12-4 14:15

4.3 应急设施: 4.3.1 使用有毒有害物质的工序宜选用具有自动化、固定式安全保护系统的工艺设备。4.3.2 有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统，应配备自动检测、报警、安全互锁切断装置。4.3.3 使用有毒有害化学品和特殊气体的工艺设备应设置事故应急设施，并应具备接受外部报警信号并实施紧急切断和报警的功能。条文说明4.3.1 工艺设备的安全保护系统通过配备紧急状态侦测切断装置，控制有毒有害气体的扩散。; 2024-12-4 14:15

5 碱性废气系统: 5.1 一般规定5.2 处理流程和方法5.3 处理设备5.4 风管及附件; 2024-12-4 14:15

5.1 一般规定: 5.1.1 碱性废气系统应设置专用系统，其他排气不应排入碱性废气系统。5.1.2 填料洗涤式碱性废气处理系统应由排风管道、处理设备、排风机、排气筒、吸收液储存及输送系统、加药装置和控制系统组成。5.1.3 碱性废气系统处理设备宜设置备用，排风机应设置备用。5.1.4 电子工业洁净厂房的碱性废气系统处理设备和排风机应按一级负荷供电，使用一级负荷供电的碱性系统处理设备和排风机风量应大于系统排风量的50; 2024-12-4 14:15

5.2 处理流程和方法: 5.2.1 碱性废气系统应采用填料洗涤式处理设备。5.2.2 碱性废气应在填料洗涤塔内分布均匀，吸收液应均匀分布在整个填料层的上表面。条文说明5.2.1 碱性废气主要是氢氧化钾、氢氧化钠、氨气、胺等碱性物质，易溶于水，且易与酸性溶液发生中和反应。实际运行经验表明，湿式洗涤是最有效的碱性废气处理方式。5.2.2 碱性废气在洗涤设备内均匀分布、气液充分接触反应，能够避免废气旁流和气液接触不充分，有效保; 2024-12-4 14:15

5.3 处理设备: 5.3.1 填料洗涤式废气处理设备应主要包括塔体、填料、循环泵、喷淋管道、喷头、集水槽、补排水管路、除雾器和自动控制系统。5.3.2 处理设备塔体应由耐酸碱腐蚀的材料制作。塔体应能承受系统工作压力，工作压力下变形量不应大于1/200。5.3.3 处理设备塔体应设置观察窗和检修口。5.3.4 填料应具有耐腐蚀、低阻力、抗变形、比表面积大的特性。应根据处理设备入口废气浓度、出口废气浓度、空塔速度、喷淋; 2024-12-4 14:15

5.4 风管及附件: 5.4.1 排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐蚀性的垫片。5.4.2 排风管道宜顺气流方向设置坡度，低点应设置排水收集点、观察计和排水阀。5.4.3 布置在严寒、寒冷地区的加药管道、补液管道及加药罐应采取防冻、防结晶措施。5.4.4 室外安装的加药管道、循环管道、排液管道应采取抗紫外线措施。条文说明5.4.1 碱性废气在排风管内冷凝形成冷凝液，具有一定腐蚀性，因此对法兰垫片耐受化学腐蚀; 2024-12-4 14:15

6 酸性废气系统: 6.1 一般规定6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气; 2024-12-4 14:15

6.1 一般规定: 6.1.1 一般酸性废气系统的设计要求应按本标准第5章的相关规定执行。6.1.2 氮氧化物废气、高浓度酸废气应单独设置废气处理系统。6.1.3 加药管道应符合下列规定： 1 室内部分应采用双层管道； 2 室外部分宜采用双层管道。条文说明6.1.3 酸性洗涤塔中和吸收液为碱性，加药管道为压力管道，管道泄漏危害较大，因此做此规定。; 2024-12-4 14:15

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