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Discuz! Board › 资源 › 消防规范›电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011

电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011

5.2 纯水回收: 5.2.1 纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况、回收水质、水量，结合当前的技术、经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求： 1 应用于集成电路生产的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于75％。 2 应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统，其背面减薄废水和划片废水应予回收利用。 3 应用于TFT-LCD生产线的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于5; 2024-12-3 17:08

5.3 节水措施: 5.3.1 水处理单元排水回收再用，其设计应符合下列要求： 1 水质应符合相应用途的水质要求。 2 应重复使用或根据用水水质要求不同顺序，使用于水处理系统或水处理单元。 3 应根据拟回收水量和需水量进行全厂范围内的水量平衡计算。 4 应设置相应的调储设施。 5 当回收水量不能满足需求水量要求时，可补充新鲜水。5.3.2 在大中型纯水制备系统中，下列排水应; 2024-12-3 17:08

6 纯水站房: 6.1 一般规定6.2 设备布置6.3 管道布置6.4 土建6.5 电气6.6 采暖通风6.7 给水排水和消防; 2024-12-3 17:08

6.1 一般规定: 6.1.1 纯水站房的总平面布置应符合厂区总体规划的要求，并应符合下列要求： 1 应靠近主要用水设备。 2 环境卫生条件应良好。 3 应有方便的交通、运输和水电条件。 4 分期建设时，应有扩建余地。6.1.2 纯水站房宜与其他建筑物合建；合建建筑物为多层时，纯水站宜设于地上一层或二层。6.1.3 纯水站房设计应满足主要水处理单元运行观察、流量计量、水质监(检); 2024-12-3 17:08

6.2 设备布置: 6.2.1 设备布置应适应生产工艺调整的灵活性，并应满足电子产品生产工艺技术改造和扩大生产规模的需求。6.2.2 设备布置应综合协凋运行操作、施工安装、维修、公用动力管线及各种技术设施的需求，并应符合下列要求： 1 应按水处理工艺流程顺序和设备功能分区有序布置。 2 应布置合理、紧凑。 3 应减少对主操作区的噪声干扰。 4 精处理或终端处理系统宜靠近主要用水设备; 2024-12-3 17:08

6.3 管道布置: 6.3.1 管道布置应符合下列要求： 1 应合理安排、组织好各类管道的走向、安全距离。 2 应管线短、附件少，并应整齐美观。 3 应便于安装、操作和维修。 4 不应影响交通运输和设备起吊。 5 管道布置应避免液袋和气袋；无法避免时，应根据操作、检修的要求设置放空、放净。 6 在管架上敷设的管道，净距不应小于50mm，法兰外缘与相邻管道的净距，不应小; 2024-12-3 17:08

6.4 土建: 6.4.1 纯水站房的跨度、柱距和层高等除有特殊要求外，宜按建筑统一模数设计。6.4.2 纯水站房的高度应根据设备吊装所需空间、设备接口高度、管道、桥架安装标高以及检修维护需求确定。设备最上部部件与站房顶板梁底的净距不宜小于0. 8m。6.4.3 纯水站房楼地面的荷载应根据工艺设备安装和检修的要求确定。6.4.4 纯水站房的出、入口应便于操作人员通行，并应至少有一个门能满足纯水站房内设备的; 2024-12-3 17:08

6.5 电气: 6.5.1 纯水站房内的供电负荷级别和供电方式，应根据工艺要求、环境特征等因素确定，并应符合现行国家标准《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定。6.5.2 电机、启动控制装置、灯具和导线型式的选择，应与纯水站房内不同区域的环境特征相适应。现场的配电柜宜采取必要的防水、防腐措施。6.5.3 纯水制备系统宜设置专用的配电箱。6.5.4 纯水站房及构筑物工作面上照度值的确定，应符合现行; 2024-12-3 17:08

6.6 采暖通风: 6.6.1 纯水站房内工作地点的夏季环境温度，应根据设备散热量的大小确定，并应符合现行国家有关工业企业设计卫生标准的规定。6.6.2 设置集中采暖的纯水站房内，值班室、控制室和分析室等冬季室内计算温度不宜低于18℃，其他区域的冬季室内计算温度不宜低于10℃。6.6.3 纯水站房内放散有害物质的设备应采用局部排风；当局部排风达不到卫生要求时，应辅以全面排风。6.6.4 化学药剂间应设置机械通; 2024-12-3 17:08

6.7 给水排水和消防: 6.7.1 纯水站内的生活给水可采用一路供水。给水系统同时供给紧急淋浴洗眼器时，应采取可靠的保障措施。6.7.2 纯水站房内高于40℃的排水不得直接排入室外排水管网。6.7.3 防火设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016，《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。; 2024-12-3 17:08

7 药品贮存、计量和输送: 7.1 一般规定7.2 酸、碱及盐; 2024-12-3 17:08

7.1 一般规定: 7.1.1 药品贮存量应根据药品的消耗量、供应情况、包装和运输条件等因素确定，宜按10d～30d消耗量计算确定。药品由本地供应时，可适当减少贮存天数。7.1.2 药品贮存间的设计应符合下列要求： 1 药品贮存间宜靠近厂区主要道路。 2 房间应有良好的通风和排水条件，其墙面和地面应采取有效的防腐措施。7.1.3 药品的存放应符合下列要求： 1 药品应分类保存在通风、干燥; 2024-12-3 17:08

7.2 酸、碱及盐: 7.2.1 酸、碱及盐等药剂的装卸和贮存设备，应采取安全和事故紧急排放、检修及清洗的措施。装卸及贮存设备应设置防护及水冲洗设施。7.2.2 盐酸贮槽宜采用液面密封设施，排气口应设置中和、吸收处理设施。浓硫酸贮槽排气口宜装设除湿器。高纯度碱贮槽排气口宜设置二氧化碳吸收器。7.2.3 装卸输送浓酸、碱液体，可采用负压抽吸泵输送或重力自流，不宜采用压缩空气输送。化学药剂采用固体碱及盐时，应设置吊运; 2024-12-3 17:08

8 控制及仪表: 8.1一般规定8.2 纯水系统监控系统设计选型8.3 现场控制系统及集中监控系统设计8.4 仪表设置; 2024-12-3 17:08

8.1一般规定: 8.1.1 电子工业纯水系统的设计应按系统规模、出水水质、制水工艺、设备选型等技术因素结合经济条件、运行管理水平等要求确定合适的自动化程度，设计与选配控制系统和现场测量仪器仪表。8.1.2 电子工业纯水系统的自动控制设计，应同时保证手动控制装置操作的可能。8.1.3 电子工业纯水系统应根据制水工艺、制水设备及其介质输送系统的特点及监控功能需求情况，确定测量与控制对象、内容和控制参数，选择相应; 2024-12-3 17:08

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