8.3.1 工艺用水process water 直接用于电子工程工艺生产过程的冷却水、清洗用水等的总称。8.3.2 去离子水 deionized water 经过阴、阳离子交换柱后，阴、阳离子杂质均已除去的水。8.3.3 纯水 pure water 根据生产需要的水质，去除生产不需保留的各种离子以及其他杂质的水。8.3.4 高纯水 high-purity water 水的温
8.5.1 洁净室施工环境温度 clean room construction ambient temperature 洁净室各种施工材料和设备管线施工安装所要求的施工环境温度。8.5.2 洁净室施工管理制度 clean room construction management system 满足洁净室施工质量对施工全过程、各方面特殊要求的管理制度。8.5.3 洁净室成品保护管理制度
Aabsorbers 7.2.4access control system(ACS) 8.2.12acid cleaning 8.3.8acidic&alkaline waste water 8.4.13acoustical insulation and sound proof door 7.5.35active vibration isolation 7.4.13active vibration
