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电子工程防静电设计规范 GB50611-2010

前言
中华人民共和国国家标准电子工程防静电设计规范Code for design of protection of electrostatic discharge in electronic engineeringGB 50611-2010主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民
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1 总则
1.0.1 为适应电子工程室内防静电设计的要求,规范电子工业建设工程防静电工作区的设计、治理的措施和实施方法,制定本规范。 1.0.2 本规范适用于电子工业领域的新建、扩建和改建工程中室内防静电设计。 1.0.3 防静电工作区设计应遵循下列原则: 1 应根据工艺配置的技术要求,预估工作区静电控制的期望目标,确定静电电位控制的目标值。 2 应根据防静电工作区构成因素和不同的防静电工作
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2 术语
2.0.1 静电 electrostatic 一种处于相对稳定状态但不是静止不动的电荷,由它所引起的磁场效应较之电场效应可以忽略不计。可由物质的接触与分离、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。 2.0.2 静电放电(ESD) electrostatic discharge 当带静电物体表面的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时,因介质电离而使带电体上的电荷部分或全部消失
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3 防静电材料及制品的基本要求和设计选择
3.1 防静电材料及制品的基本要求 3.2 防静电材料及制品的设计
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3.1 防静电材料及制品的基本要求
3.1.1 防静电工作区采用的防静电工程材料应符合下列规定: 1 静电屏蔽材料应采用表面电阻或体积电阻小于1.0×103Ω的材料。 2 导静电材料应采用表面电阻或体积电阻为2.5×104Ω~1.0×106Ω(不含1.0×106Ω)的材料。 3 静电耗散材料应采用表面电阻或体积电阻
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3.2 防静电材料及制品的设计选择
3.2.1 室内防静电工作区应根据设计分级,选用不同性能的防静电材料及制品,并应符合下列规定: 1 一级防静电工作区的地面和墙面、柱面应选用导静电材料。导静电型地面、墙面、柱面应满足下列技术指标: 1)表面电阻、对地电阻应为2.5×104Ω~1.0×106Ω; 2)摩擦起电电压绝对值不应大于100V; 3)静电半衰期不
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4 防静电工作区室内装饰设计
4.1 地面设计 4.2 顶棚和墙面设计 4.3 门窗和其他装修设计
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4.1 地面设计
4.1.1 室内防静电地面设计应符合下列规定: 1 应根据不同的基础条件及防静电目标合理选择地面种类,可选用贴面地面、活动地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移动式地垫等。 2 应具有长效和稳定的导静电性能。 3 应具有可靠的静电泄放接地系统。地面导电层接地引出点不应少于2处,且相邻间距不应大于25m。 4.1.2 贴面地面应符合下列规定: 1 应合理选择贴面地面的材
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4.2 顶棚和墙面设计
4.2.1 顶棚和墙、柱面装饰有导电层要求时,应制订合理的导电层方案,并应采用十字形构造铜箔或设置多点间接接地的接点;当顶棚和墙、柱面装饰设置基层骨架时应选用金属材料,金属骨架应接地。接地连接点的设置每个房间不应少于4处,相邻连接点之间距离不应大于18m。 4.2.2 顶棚和墙、柱面装饰的罩面板应选用导静电型、静电耗散型材料,其性能要求应符合本规范第3.2.1条的规定。 4.2.3 一级防静电工作
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4.3 门窗和其他装修设计
4.3.1 防静电工作区的门窗设计应符合下列规定: 1 一、二级防静电工作区应选用静电耗散材料制作门或采用静电耗散材料贴面。三级防静电工作区可选用低起电材料。 2 金属门窗表面应涂刷具有静电耗散性能的涂层,并应接地。选用静电耗散材料贴面的门及窗的外框应有导静电泄放的接地连接。 3 二级防静电工作区的建筑外层有采光窗时,应设计为双层,其内层窗应符合本条第1、2款的规定。
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5 防静电工作区电气设计
5.0.1 防静电工作区中供电电源质量分级应按工艺要求执行。 5.0.2 防静电工作区中电子设备宜由变电所或低压总配电间的专用回路供电,各种专用电源设备应靠近由其供电的电子设备。 5.0.3 防静电工作区供配电系统设计宜根据供电电网的电源质量,以及系统内可能产生的瞬变干扰和脉冲干扰,采取相应抑制谐波干扰的措施。 5.0.4 防静电工作区电源进线浪涌保护器的设置,应符合现行国家标准《建筑物电子信息系
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6 防静电工作区接地系统设计
6.0.1 防静电工作区应设置防静电接地系统。 6.0.2 防静电工作区接地系统应由接地体、接地干线、接地支线、接地端子板、接地网格或闭合铜排环组成。 6.0.3 防静电工作区中由TN交流配电系统供电时应采用TN-S或TN-C-S系统的接地方式。 6.0.4 防静电工作区中应含有不同功能要求的接地系统,各接地系统的设计都应符合等电位连接的要求,不同接地系统在接入等电位端子前不应混接。 6.0.5
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7 防静电工作区空气调节系统和工业管道设计
7.0.1 防静电工作区宜设置空气调节系统。 7.0.2 当防静电工作区和其他房间空调参数不同时,宜分别设置空调系统。 7.0.3 防静电工作区的温度及波动范围应满足工艺要求,宜为18℃~28℃。 7.0.4 防静电工作区的相对湿度及波动范围应满足工艺要求,宜为45%~65%。 7.0.5 防静电工作区的气流组织形式应根据洁净室(区)空气洁净度等级和生产工艺特点的不同要求确定。 7.0.6 防静电
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8 防静电安全工作台的设计选择
8.0.1 防静电安全工作台可用于制造和应用静电敏感元器件的场所。静电敏感元器件、组件及设备的操作,应在防静电安全工作台上进行。 一、二级防静电工作区及有明确防静电要求的台式精密电子设备的三级防静电工作区,应根据工艺要求配置防静电安全工作台。 防静电分级为一级的微电子制造和测试场所,防静电安全工作台应使用硬质台垫及无表面涂覆的难氧化金属台架;除微电子电路制造和测试以外的电子产品或整
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9 离子化静电消除器的设计选择
9.0.1 一、二级防静电工作区配置的设备机台局部,以及防静电安全工作台等对静电敏感元器件有明确防护要求的场所,应选用离子化静电消除器。 9.0.2 离子化静电消除器的设计选择应根据现场条件和消除静电的控制目标,并结合静电消除器的消电效能和综合性能确定。 9.0.3 离子化静电消除器的离子平衡度、消电时间、臭氧发生量、噪声等技术指标应符合国家现行有关产品标准的规定。 9.0.4 离子化静电消除器的
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