4.3 光学加工及检测设备

摘要: 4.3.1 光栅刻线和光学加工设备在时域范围内的容许振动值，宜按表4.3.1的规定确定。4.3.2 光学检测设备在频域范围内的容许振动值，宜按表4.3.2的规定确定。注：当频率重叠时，应同时满足两个频率区间上的容许振动要求。条文说明4.3.1 光栅刻线机、全息曝光机、镀膜机、环抛机均为光学加工的典型设备。光栅刻线设备的工艺有其特殊性，在防止外界振动对刻划有影响的情况下，其自身的内部设备要产生振动，