10.4.1 工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备要求确定。
10.4.2 工艺冷却循环水系统应根据用水设备的布置情况、进出口温度、使用压力和水质等要求确定。
10.4.3 工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水质、水压要求确定。
10.4.4 当工艺冷却水系统的水温与洁净室的环境温度不同时，布置在洁净室内的工艺冷却循环水管道应采取保温措施。
10.4.5 工艺冷却水循环水泵宜采用应急备用电源；水泵应采用N+1备用，并应采用变频控制。
10.4.6 工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求。
10.4.7 当工艺冷却循环水系统设有集水箱（池）时，集水箱（池）的设置应符合下列规定：
1 集水箱（池）的有效容积应按下式计算：
式中：
V有效——集水箱（池）的有效容积（m³）；
K——安全系数，取1.1~1.2；
D——未充满水管道的直径（m）； L——未充满水管道的长度（m）。
2 集水箱（池）的最低液位应满足水泵吸水口需要的最小淹没深度。当水泵吸水管的流速小于或等于0.6m/s时，最小淹没深度不应小于0.3m；当水泵吸水管的流速为1.2m/s时，最小淹没深度不应小于0.6m。
3 停泵时因重力流入集水箱（池）的管道水容量应有溢流排水的技术措施。
10.4.8 工艺冷却循环水系统的管道流速应经水力计算确定，任一计算管段的水力坡降（i）不宜大于0.025。
条文说明
10.4.4 洁净室为恒温、恒湿环境，洁净室内的工艺冷却循环水管道采取保温措施可以防止工艺冷却循环水管道向洁净室散热或产生结露，避免对洁净室的温度、湿度产生不利影响。
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