6.2.1 高效过滤器扫描检漏应符合下列规定:
表6.2.1 粒子计数器扫描检漏时的参数
6.2.2 高效过滤器扫描检漏应按下列方法进行: 条文说明
6.2.1 有些行业出于安全、环保等原因,不提倡使用DOP进行过滤器测试,而有些行业出于对有机物缓释挥发方面的担忧,不提倡使用油性气溶胶进行过滤器测试。所发生的气溶胶可以为单分散气溶胶,也可以为多分散气溶胶,但无论发生哪种气溶胶,应保证所发生气溶胶的浓度以及粒径分布在测试过程中保持稳定。常用液态物质包括DEHS/DES/DOS(癸二酸二辛酯)、DOP(邻苯二甲酸二辛酯)、PAO(聚α烯烃)等,常用固态物质包括PSL(聚苯乙烯乳胶球)、大气气溶胶。人工多分散气溶胶一般采用Laskin喷嘴来发生。
6.2.2 高效过滤器安装后的检漏方法主要参照《洁净室及相关受控环境》ISO14644以及《洁净室施工及验收规范》GB 50591中的要求,并结合工程实践制定,光度计法发尘量大,操作复杂,易污染,一般宜采用粒子计数器法。 对于单个安装高效过滤器,四周形成空腔时,应采取适宜的隔离措施,如不采用措施,在安装边框扫描处会受周围环境洁净度影响,造成无法判断。 |
Powered by Discuz! X3.5
© 2001-2025 Discuz! Team.