C.13 大粒子的测试

摘要: C.13.1 对洁净室(区)内粒径大于5μm的大粒子的测试，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。C.13.2 大粒子的测试，宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量，其采样点、采样流量可按本规范第C.1节的要求进行。