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7 方法步骤

2024-12-5 15:43| 发布者: LooTan| 查看: 18| 评论: 0

摘要: 7.1 用扫描电子显微镜确定要分析的孔洞内表面位置。7.2 用电子束扫描成像,放大倍数宜选择在100倍~200倍。7.3 将俄歇电子能谱仪设置初级电子能量3000eV、初级电子束流0.5μA、初级电子束直径小于2μm;测量弹性峰时,入射电子能量(Ep)小于或等于2000eV,倍增器高压用1000 V;测量俄歇信号时,Ep可用3000eV、5000eV或10000eV,倍增器高压用150
7.1 用扫描电子显微镜确定要分析的孔洞内表面位置。
7.2 用电子束扫描成像,放大倍数宜选择在100倍~200倍。
7.3 将俄歇电子能谱仪设置初级电子能量3000eV、初级电子束流0.5μA、初级电子束直径小于2μm;测量弹性峰时,入射电子能量(Ep)小于或等于2000eV,倍增器高压用1000 V;测量俄歇信号时,Ep可用3000eV、5000eV或10000eV,倍增器高压用1500V以上,脉冲计数方式,倍增器高压可用到2500V;对选好的分析点进行定点分析。
7.4 分析时应随时调节被分析检材的孔洞位置,确保分析点处于分析器的最佳工作点上。
7.5 应及时调整检材的分析点到分析器间的距离,以保证获得尽可能大的俄歇信号。
7.6 为保证结果可靠,减少统计误差,在有限的检材中,应分析尽可能多的孔洞。

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