10.3.1 纯水系统除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472和《电子工业纯水系统设计规范》GB 50685的有关规定外,尚应符合下列规定: 1 纯水系统应包括纯水制备系统、纯水分配系统及纯水回收、处理系统; 2 纯水系统除应满足所需水量、水质、水温和水压的要求外,还应满足运行灵活、安全可靠、便于操作管理、运行费用低的要求; 3 纯水输水及分配系统的附加循环流量宜大于设计用水量的20%; 4 纯水系统的回收率应根据工程实际情况合理确定。 10.3.2 纯水制备用原水,宜选用符合条件的再生水。 条文说明
10.3.1 薄膜晶体管液晶显示器行业纯水用量非常大,制水的成本也很高。因此在制备纯水时,不仅仅要考虑纯水的制备系统和纯水的分配系统,还必须考虑纯水的回收回用系统。 为保证纯水系统的水质,纯水系统必须考虑循环流量。循环流量越大,水质越好,精处理设备的负荷就越大,管径就越大。根据工程实际经验,在薄膜晶体管液晶显示器厂房中规定纯水的循环回流水流量不低于供水量的20%。 纯水的回收水应尽可能重复利用,因为增大纯水的回用率不仅可以减少水耗,而且可以减少对冷、热源的需要,达到节能降耗,保护环境。但纯水的回收率和各个工厂的设备、工艺生产中所使用的化学品及当前的水处理技术等多重因素息息相关。目前最新建设的薄膜晶体管液晶显示器工厂的纯水回用率都不低于纯水耗量的65%。 10.3.2 在薄膜晶体管液晶显示器工厂中,纯水制备用原水耗水量巨大。水资源是不可再生的资源,在水资源日益紧缺的今天,如果全部采用新鲜自来水,会给城市造成很大的供水压力。因此建议,在能够制备出可以满足工艺生产需要的纯水的前提下,并经过合理的经济技术比较后,宜优先选用再生水,减少新鲜自来水的使用。目前在现有TFT工厂中,已经有成功的使用再生水制备纯水的案例。 |
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