2 术语

2.0.2  在一定条件下，通过一定方法，在单品衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段，故称外延生长。

2.0.3  金属有机化合物化学气相淀积是在气相外延生长(VPE)基础上发展起来的一种新型外延生长技术。“金属有机化合物”是指所用的生长原材料为金属有机化合物，发光二极管的MOCVD工艺所用到的金属有机化合物通常包括：MGa、TMA1、TMIn、CP2Mg等。“化学”是指发生化学反应，“气相”是指原材料以气相的状态进入反应室发生反应，“沉积”是指反应后生长的半导体材料分子沉积在衬底表面的过程。

2.0.4  空间管理就是大到整个厂区的规划，包括厂区建筑物布局，地下管线规划；小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调。

    发光二极管工厂由于投资较大，成本较高，在空间管理上应力求遵守空间合理布局、平面合理分区，并充分利用空间的原则。

    空间管理概念贯穿整个设计和施工建造过程，控制施工安装应尽量避免公用设施系统的各组成设备以及服务路线的冲突。