6.5 半导体材料制备

摘要: 6.5.1 制备多晶硅产生的废触媒应按危险废物安全处置，硅渣、水解物及废水中和渣应按一般工业固体废物贮存。6.5.2 氯化锗蒸馏残渣应综合利用。条文说明6.5.1 制备多晶硅过程产生的废触媒(即废镍粉)，被列入《国家危险废物名录》，定性为危险废物。硅渣、水解物(二氧化硅浮渣)石灰中和渣以及污水处理渣的主要成分为氯化钙，定性为一般工业固体废物，应当堆存在按相关标准建设的贮存场内。6.5.2